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- 题名/责任者:
- 半导体薄膜技术与物理/叶志镇 ... [等] 编著
- 出版发行项:
- 杭州:浙江大学出版社,2008
- ISBN及定价:
- 978-7-308-06617-4/CNY36.00
- 载体形态项:
- 278页:图, 肖像;24cm
- 个人责任者:
- 叶志镇, 1955- 编著
- 个人责任者:
- 吕建国 编著
- 个人责任者:
- 吕斌 编著
- 学科主题:
- 半导体膜-薄膜
- 中图法分类号:
- TN304.055
- 中图法分类号:
- TN304
- 题名责任附注:
- 题名页题: 叶志镇, 吕建国, 吕斌, 张银珠编著
- 书目附注:
- 有书目
- 提要文摘附注:
- 本书全面系统地介绍了半导体薄膜的各种制备技术及其相关的物理基础。全书共分十章。第一章概述了真空技术, 第二至八章分别介绍了蒸发、化学气相沉积、液相外延等。
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