MARC状态：已编 文献类型：中文图书 浏览次数：32
- 题名/责任者:
- 微纳加工中的精密工件台技术/刘俊标等著
- 出版发行项:
- 北京:北京工业大学出版社,2004
- ISBN及定价:
- 7-5639-1432-3/CNY45.00
- 载体形态项:
- 278页;26cm
- 编目员补充题名:
- 微纳加工中的精密工件台技术
- 个人责任者:
- 刘俊标 著
- 学科主题:
- 设备
- 中图法分类号:
- TN470.598
- 中图法分类号:
- TN470
- 提要文摘附注:
- 本书重点讲述微纳加工中的关键部件——精密工件台的结构、原理和主要技术，以及通过精密工件台提高加工精度和生产效率的有效方法。全书分为九章。
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