MARC状态：已编 文献类型：中文图书 浏览次数：43
- 题名/责任者:
- 软X射线与极紫外辐射的原理和应用/(美)D. 阿特伍德著 张杰等译
- 出版发行项:
- 北京:科学出版社,2003
- ISBN及定价:
- 7-03-010813-2/CNY59.00
- 载体形态项:
- 13, 458页:图;24cm
- 编目员补充题名:
- 软X射线与极紫外辐射的原理和应用
- 个人责任者:
- 阿特伍德 D. 著
- 个人次要责任者:
- 张杰 译
- 学科主题:
- 紫外辐射-研究
- 学科主题:
- X射线-研究
- 中图法分类号:
- O434
- 中图法分类号:
- O-434
- 书目附注:
- 书末附书目(第458页)
- 提要文摘附注:
- 本书主要介绍X射线与级紫外辐射的基本特性，讨论它们在半导体芯片制备等多个领域的广泛应用，并提供大量参考资料进行辅助讲述。
全部MARC细节信息>>
理工阅览室（4楼）