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题名/责任者:

真空镀膜技术与应用/陆峰编著

出版发行项:

北京:化学工业出版社,2022

ISBN及定价:

978-7-122-40245-5/CNY138.00

载体形态项:

335页:图;26cm

并列正题名:

Technology and application of vacuum coating

个人责任者:

陆峰 编著

学科主题:

真空技术-镀膜

中图法分类号:

TN305.8

中图法分类号:

TN30

提要文摘附注:

本书共9章，主要阐述了真空镀膜技术应用，具体介绍了近代真空镀膜方法。内容包括真空蒸发镀膜，真空溅射镀膜，真空离子镀膜，离子束(辅助)沉积，化学气相沉积的原理、特点、装置及应用；还对所制备薄膜的测量技术、性能分析方法做了详细的介绍。

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