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MARC状态:已编 文献类型:中文图书 浏览次数:30
书目信息
机读格式(MARC)
题名/责任者:
微电子材料与制程
/陈力俊主编
出版发行项:
上海:复旦大学出版社,2005
ISBN及定价:
7-309-04363-4/CNY68.00
载体形态项:
11,613页;23cm
编目员补充题名:
微电子材料与制程
个人责任者:
陈力俊
主编
学科主题:
微电子技术
中图法分类号:
TN4
提要文摘附注:
本书内容包括半导体基本理论、硅晶圆制造、硅晶薄膜、刻蚀技术、光刻技术、离子注入、金属薄膜、氧化介电层、电子封装及材料分析等,从理论基础到制造、分析等实务经验,皆有完整而透彻的介绍。
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