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- 题名/责任者:
- 半导体制造与过程控制基础/(美) Gary S. May, Costas J. Spanos著 李虹, 肖春虹, 马俊婷译
- 出版发行项:
- 北京:机械工业出版社,2009
- ISBN及定价:
- 978-7-111-25665-6/CNY60.00
- 载体形态项:
- xi, 377页:图;24cm
- 丛编项:
- 国际信息工程先进技术译丛
- 个人责任者:
- 梅 (May, Gary S.) 著
- 个人责任者:
- 斯帕农斯 (Spanos, Costas J.) 著
- 个人次要责任者:
- 李虹 译
- 个人次要责任者:
- 肖春虹 译
- 个人次要责任者:
- 马俊婷 译
- 学科主题:
- 半导体工艺
- 中图法分类号:
- TN305
- 相关题名附注:
- 英文题名原文取自封面
- 责任者附注:
- 责任者May规范汉译姓: 梅; 责任者Spanos规范汉译姓: 斯帕农斯
- 书目附注:
- 有书目 (第362页)
- 提要文摘附注:
- 本书详细地研究并阐述了在高产量制造环境中, 电子材料和供料转换为完善的集成电路和电子产品的过程和方法。《半导体制造与过程控制基础》讨论与微电子器件和电路的工业水平制造相关的问题, 包括 (但不限于) 制造、过程控制、试验设计、过程建模、产出建模和CIM (计算机集成制造)/CAM (计算机辅助制造) 系统。
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