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MARC状态:已编 文献类型:中文图书 浏览次数:33

题名/责任者:
微电子机械系统/姜岩峰编著
出版发行项:
北京:化学工业出版社,2006
ISBN及定价:
7-5025-8158-8/CNY28.00
载体形态项:
194页:图表;26cm
编目员补充题名:
微电子机械系统
个人责任者:
姜岩峰 编著
学科主题:
微电子技术-电子机械-机械系统
中图法分类号:
TH-39
书目附注:
有参考文献(第194页)
提要文摘附注:
本书介绍了微电子机械系统(MEMS)相关的基础知识、主要工艺和器件结构等方面内容,对该领域的热点研究问题进行了探讨。主要内容分为五个部分,首先讲述了MEMS的相关力学量测量方法,然后介绍了MEMS中的主要工艺等。
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索书号 条码号 年卷期 馆藏地 书刊状态
TH-39/7 10600329   理工阅览室(4楼) 图书定位    可借
TH-39/7 10600330   理工阅览室(4楼) 图书定位    可借
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