MARC状态:已编 文献类型:中文图书 浏览次数:33
- 题名/责任者:
- 微电子机械系统/姜岩峰编著
- 出版发行项:
- 北京:化学工业出版社,2006
- ISBN及定价:
- 7-5025-8158-8/CNY28.00
- 载体形态项:
- 194页:图表;26cm
- 编目员补充题名:
- 微电子机械系统
- 个人责任者:
- 姜岩峰 编著
- 学科主题:
- 微电子技术-电子机械-机械系统
- 中图法分类号:
- TH-39
- 书目附注:
- 有参考文献(第194页)
- 提要文摘附注:
- 本书介绍了微电子机械系统(MEMS)相关的基础知识、主要工艺和器件结构等方面内容,对该领域的热点研究问题进行了探讨。主要内容分为五个部分,首先讲述了MEMS的相关力学量测量方法,然后介绍了MEMS中的主要工艺等。
全部MARC细节信息>>