景德镇学院图书馆书目检索系统

Online Public Access Catalogue

题名/责任者:

半导体制造与过程控制基础/(美) Gary S. May, Costas J. Spanos著 李虹, 肖春虹, 马俊婷译

出版发行项:

北京:机械工业出版社,2009

ISBN及定价:

978-7-111-25665-6/CNY60.00

载体形态项:

xi, 377页:图;24cm

统一题名:

Fundamentals of semiconductor manufacturing and process control

丛编项:

国际信息工程先进技术译丛

个人责任者:

梅 (May, Gary S.) 著

个人责任者:

斯帕农斯 (Spanos, Costas J.) 著

个人次要责任者:

李虹 译

个人次要责任者:

肖春虹 译

个人次要责任者:

马俊婷 译

学科主题:

半导体工艺

中图法分类号:

TN305

相关题名附注:

英文题名原文取自封面

责任者附注:

责任者May规范汉译姓: 梅; 责任者Spanos规范汉译姓: 斯帕农斯

书目附注:

有书目 (第362页)

提要文摘附注:

本书详细地研究并阐述了在高产量制造环境中, 电子材料和供料转换为完善的集成电路和电子产品的过程和方法。《半导体制造与过程控制基础》讨论与微电子器件和电路的工业水平制造相关的问题, 包括 (但不限于) 制造、过程控制、试验设计、过程建模、产出建模和CIM (计算机集成制造)/CAM (计算机辅助制造) 系统。

豆瓣简介：