MARC状态：已编 文献类型：中文图书 浏览次数：37
- 题名/责任者:
- 固体薄膜材料与制备技术/宁兆元等编著
- 出版发行项:
- 北京:科学出版社,2008
- ISBN及定价:
- 978-7-03-021206-1/CNY30.00
- 载体形态项:
- 131页:图;23cm
- 个人责任者:
- 宁兆元 编著
- 学科主题:
- 薄膜技术
- 学科主题:
- 薄膜-工程材料
- 中图法分类号:
- TQ320.72
- 中图法分类号:
- TQ320
- 提要文摘附注:
- 全书共10章，第1章主要介绍了薄膜材料的基本概念、特征，第2章和第3章讲述的是有关薄膜制备技术中涉及的基础知识，第4章和第5章是本书的重点，着重讨论了制备薄膜材料的物理气相沉积技术和化学气相沉积技术的基本原理和方法，第7～10章则有选择地介绍了当前国际上研究的几种热点薄膜材料的制备和检测技术。
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