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- 题名/责任者:
- 国内外半导体材料标准汇编/屠海令主编 《国内外半导体材料标准汇编》编委会编
- 出版发行项:
- 北京:中国标准出版社,2004
- ISBN及定价:
- 7-5066-3287-X/CNY210.00
- 载体形态项:
- 16, 1137页;30cm
- 个人责任者:
- 屠海令 主编
- 学科主题:
- 半导体材料-标准-汇编-世界
- 中图法分类号:
- TN304-65
- 中图法分类号:
- TN304
- 提要文摘附注:
- 本书全面、详实地收录了基础标准、产品标准、方法标准几方面我国半导体材料的国家标准,并翻译汇集了国际SEMI标准组织关于半导体材料的标准。
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