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MARC状态:已编 文献类型:中文图书 浏览次数:39
书目信息
机读格式(MARC)
题名/责任者:
真空镀膜技术与应用
/陆峰编著
出版发行项:
北京:化学工业出版社,2022
ISBN及定价:
978-7-122-40245-5/CNY138.00
载体形态项:
335页:图;26cm
并列正题名:
Technology and application of vacuum coating
个人责任者:
陆峰
编著
学科主题:
真空技术
-镀膜
中图法分类号:
TN305.8
中图法分类号:
TN30
提要文摘附注:
本书共9章,主要阐述了真空镀膜技术应用,具体介绍了近代真空镀膜方法。内容包括真空蒸发镀膜,真空溅射镀膜,真空离子镀膜,离子束(辅助)沉积,化学气相沉积的原理、特点、装置及应用;还对所制备薄膜的测量技术、性能分析方法做了详细的介绍。
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