MARC状态：已编 文献类型：中文图书 浏览次数：41
- 题名/责任者:
- 微电子工艺与装备技术/夏洋，解婧，陈宝钦编著
- 出版发行项:
- 北京:科学出版社,2023
- ISBN及定价:
- 978-7-03-075192-8/CNY88.00
- 载体形态项:
- 10,227页:图，照片;26cm
- 个人责任者:
- 夏洋 编著
- 个人责任者:
- 解婧 编著
- 个人责任者:
- 陈宝钦 编著
- 学科主题:
- 微电子技术-生产工艺-研究生-教材
- 中图法分类号:
- TN405
- 一般附注:
- 中国科学院大学研究生教材系列
- 提要文摘附注:
- 本书共十章，内容包括：基础知识、物理气相沉积工艺实验、化学气相沉积工艺实验、光刻工艺实验、微纳米刻技术及实验、刻蚀工艺实验、工艺集成及微机电系统、示例课程简介等。
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理工阅览室（4楼）