MARC状态：已编 文献类型：中文图书 浏览次数：34
- 题名/责任者:
- 国外半导体电子束曝光离子注入技术动向/上海科学技术情报研究所编
- 出版发行项:
- 上海:上海科学技术情报出版社,1972
- ISBN及定价:
- /CNY0.25
- 载体形态项:
- 34页;26cm
- 编目员补充题名:
- 国外半导体电子束曝光离子注入技术动向
- 团体责任者:
- 上海科学技术情报研究所 编
- 学科主题:
- 半导体技术 -- 外国 -- 资料
- 中图法分类号:
- TN3
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