MARC状态：已编 文献类型：中文图书 浏览次数：25
- 题名/责任者:
- 光刻技术/《半导体器件制造技术丛书》编写组编
- 出版发行项:
- 北京:国防工业出版社,1972
- ISBN及定价:
- /CNY0.22
- 载体形态项:
- 78页;19cm
- 编目员补充题名:
- 光刻技术
- 丛编项:
- 半导体器件制造技术丛书 9
- 团体责任者:
- 半导体器件制造技术丛书编写组 编
- 学科主题:
- 半导体工艺-电子束光刻
- 中图法分类号:
- TN305.7
- 中图法分类号:
- TN305
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| 索书号 | 条码号 | 年卷期 | 馆藏地 | 书刊状态 |
| TN305/10 | 10285954 | 90-3-3 |  密集书库（1楼）
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| TN305/10 | 10285955 | 90-3-3 | 密集书库（1楼）
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| TN305/10 | 10285958 | 90-3-3 | 密集书库（1楼）
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| TN305/10 | 10285959 | 90-3-3 | 密集书库（1楼）
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| TN305/10 | 10285960 | 90-3-3 | 密集书库（1楼）
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