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• 000 01127nam0 2200301 450

• 001 0000920625

• 005 20190808091502.0

• 010 __ |a 978-7-308-06617-4 |d CNY36.00

• 100 __ |a 20090707d2008 ekmy0chiy0121 ea

• 101 0_ |a chi

• 102 __ |a CN |b 330000

• 105 __ |a ack a 000yy

• 106 __ |a r

• 200 1_ |a 半导体薄膜技术与物理 |A ban dao ti bao mo ji shu yu wu li |d = Physics and technology of semiconductor thin films |f 叶志镇 ... [等] 编著 |z eng

• 210 __ |a 杭州 |c 浙江大学出版社 |d 2008

• 215 __ |a 278页 |c 图, 肖像 |d 24cm

• 304 __ |a 题名页题: 叶志镇, 吕建国, 吕斌, 张银珠编著

• 320 __ |a 有书目

• 330 __ |a 本书全面系统地介绍了半导体薄膜的各种制备技术及其相关的物理基础。全书共分十章。第一章概述了真空技术, 第二至八章分别介绍了蒸发、化学气相沉积、液相外延等。

• 510 1_ |a Physics and technology of semiconductor thin films |z eng

• 606 0_ |a 半导体膜 |A ban dao ti mo |x 薄膜

• 690 __ |a TN304.055 |v 4

• 690 __ |a TN304 |v 5

• 701 _0 |a 叶志镇, |A ye zhi zhen , |f 1955- |4 编著

• 701 _0 |a 吕建国 |A lv jian guo |4 编著

• 701 _0 |a 吕斌 |A lv bin |4 编著

• 801 _0 |a CN |b JDZXYTSG |c 20090707

• 905 __ |a JDZXY |d TN304/13