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- 010 __ |a 7-03-010813-2 |d CNY59.00
- 100 __ |a 20051128d2003 ekmy0chiy0110 ea
- 200 1_ |a 软X射线与极紫外辐射的原理和应用 |A ruan Xshe xian yu ji zi wai fu she de yuan li he ying yong |f (美)D. 阿特伍德著 |g 张杰等译 |G zhang jie den yi
- 210 __ |a 北京 |c 科学出版社 |d 2003
- 215 __ |a 13, 458页 |c 图 |d 24cm
- 330 __ |a 本书主要介绍X射线与级紫外辐射的基本特性,讨论它们在半导体芯片制备等多个领域的广泛应用,并提供大量参考资料进行辅助讲述。
- 540 __ |a 软X射线与极紫外辐射的原理和应用
- 606 0_ |a 紫外辐射 |A zi wai fu she |x 研究
- 606 0_ |a X射线 |A Xshe xian |x 研究
- 701 _1 |a 阿特伍德 |A a te wu de |b D. |4 著
- 702 _0 |a 张杰 |A zhang jie |4 译
- 801 __ |b JDZXYTSG |c 20051226
- 905 __ |a JDZXY |d O-434/10