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- 000 01059nam0 2200289 450
- 010 __ |a 978-7-111-72041-6 |d CNY99.00
- 100 __ |a 20230406d2023 em y0chiy50 ea
- 200 1_ |a 一本书读懂芯片制程设备 |A yi ben shu du dong xin pian zhi cheng she bei |f 王超[等]编著
- 210 __ |a 北京 |c 机械工业出版社 |d 2023
- 215 __ |a 254页 |c 图,照片 |d 24cm
- 225 1_ |a 集成电路科学与技术丛书 |A ji cheng dian lu ke xue yu ji shu cong shu
- 330 __ |a 本书首先介绍了集成电路芯片制程及其设备,并分析了芯片制程设备的国内外市场环境;然后,针对具体工艺技术涉及的设备,综述了设备原理及市场情况;最后对我国集成电路芯片制程设备的发展做了总结展望。
- 461 _0 |1 2001 |a 集成电路科学与技术丛书
- 606 0_ |a 芯片 |A xin pian |x 工业生产设备
- 701 _0 |a 王超 |A wang chao |4 编著
- 801 _0 |a CN |b 91MARC |c 20230410
- 905 __ |a JDZXY |d TN43/35