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• 010 __ |a 978-7-03-071476-3 |d CNY99.00

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• 200 1_ |a 批间控制理论与设计方法 |A pi jian kong zhi li lun yu she ji fang fa |d = Theory and design of run to run control |f 潘天红, 王海燕, 谭斐著 |z eng

• 210 __ |a 北京 |c 科学出版社 |d 2022

• 215 __ |a 143页 |c 图 |d 24cm

• 314 __ |a 潘天红, 安徽大学电气工程与自动化学院教授、博士生导师, 长期从事非线性系统建模与优化控制方面的研究工作。王海燕, 博士, 上海机电学院电气学院教师。长期从事过程控制、统计分析方法、机器学习等方面的研究。谭斐, 博士, 江苏大学电气信息工程学院教师。长期从事半导体晶圆制程的批间控制理论与应用、控制系统性能评估方法等方面的研究。

• 320 __ |a 有书目

• 330 __ |a 本书全面系统地介绍了离散制造过程的批间控制理论及其设计方法, 侧重于混合制程批间控制研究的最新进展。全书共7章, 分为三大部分, 第一部分针对混合制程的控制问题, 阐述了基于JADE、ANOVA、G&P-EWMA、贝叶斯估计及扩张状态观测器的批间控制理论与设计方法; 第二部分针对带测量时延的半导体晶圆制程的控制问题, 给出系统稳定性分析、测量时延概率的估计算法及EWMA滤波器设计方法; 第三部分结合贝叶斯理论, 研究批间控制性能评估方法, 并给出批间控制器协同设计策略。

• 510 1_ |a Theory and design of run to run control |z eng

• 606 0_ |a 自动控制理论 |A zi dong kong zhi li lun

• 690 __ |a TP13 |v 5

• 701 _0 |a 潘天红 |A pan tian hong |4 著

• 701 _0 |a 王海燕 |A wang hai yan |4 著

• 701 _0 |a 谭斐 |A tan fei |4 著

• 801 _0 |a CN |b 湖北三新 |c 20220514

• 905 __ |a JDZXY |d TP13/91